重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
发布时间：2024-12-28 04:49:53 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论快科技10月25日消息，据华中科技大学官微消息，近日，该校武汉光电国家研究中心团队，在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍，其研发的T150A光刻胶系列产
。
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
相关文章
OPPO最佳直屏手机！OPPO Find X8正式发布：售价4199元起
快科技10月24日消息，今日晚间，OPPO Find X8正式发布。售价方面，12GB+256GB售价4199元，16GB+256GB售价4399元，12GB+512GB售价4699元，16GB+512024-12-28
以下为美联储公开市场委员会(FOMC)在9月19-20日货币政策会议后发布的声明全文：美联储公开市场委员会(FOMC)自7月会议以来获得的信息显示，就业市场继续增强，今年迄今经济活动一直在适度增长。近2024-12-28
8月16日晚，从江苏到大连的游客张女士带孩子在星海附近的一家面馆就餐，期间，她将手表摘下来给孩子玩，不一会儿，孩子把手表掉在了地上，被拣走了。张女士的手表为浪琴牌，价值1.5万元。面馆服务人员承认有食2024-12-28
世纪互联公布第二季度财报：净亏同比收窄3.7%世纪互联Nasdaq：VNET）今天发布了截至6月30日的2017财年第二季度未经审计财报。报告显示，世纪互联第二季度净营收为人民币8.787亿元约合1.2024-12-28
长安汽车：1000kW驱动电机明年量产 推背感和战斗机起飞一样
快科技10月22日消息，日前，长安汽车举办技术品牌发布会。会上，长安高管张晓宇透露，长安汽车正在研发的天衡S分布式电驱电机，最大功率达到了1000kW，峰值扭矩10000N·m+。电机的2024-12-28
周五7月28日），商品期货市场收盘涨跌互现，黑色系多数小幅飘红，铁矿石涨超1%，热卷、焦炭涨近1%，动力煤跌超1%；化工品集体飘绿，橡胶封跌停，聚丙烯跌超2%；有色金属多数飘绿，仅沪镍涨超12024-12-28
最新评论